公司生产的硅铝靶材采用先进的热等静压工艺和热喷涂工艺生产，产品包括矩形靶、圆弧靶和管靶等类型，具有成分比例范围宽（铝含量为10at%~90at%）、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。硅铝靶材典型的成分比例有90:10wt%、70:30wt%等，也可按照客户要求定制特殊成分和规格靶材。
|
硅铝靶 Silicon-aluminum target |
性能 Product performance |
||
|---|---|---|---|
|
化学成分/at% Composition |
Si90Al10 |
Si70Al30 |
|
|
纯度/% Purity |
99.8 |
99.8 |
|
|
密度/g/cm3 Density |
≥2.31 |
≥2.41 |
|
|
晶粒度/μm Grain size |
≤100 |
≤100 |
|
|
金属杂质总和/ppm Total content of metallic impurities |
≤2000 |
≤2000 |
|
|
规格尺寸/mm Size |
平面靶 Planar target |
热等静压 Hot isostatic pressing ≤1000×250 |
热等静压 Hot isostatic pressing ≤1000×250 |
|
旋转靶 Rotating target |
热喷涂成形 thermal spraying 长度Length≤4000 厚度Thickness≤15 |
热喷涂成形 thermal spraying 长度Length≤4000 厚度Thickness≤15 |
|
SiAl (90:10 wt%)
|
成分(elements) |
硅(Si) |
铝（Al） |
铁（Fe） |
铜(Cu) |
锰（Mn) |
碳(C) |
钙（Ca） |
氧(O) |
氮(N) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
测 试 值（wt%) （Test values） |
90.19 |
9.66 |
≤0.074 |
0.002 |
0.002 |
0.04 |
0.002 |
≤0.04 |
0.04 |
|
密度（g/cm3）（Density) |
2.36 |
||||||||
SiAl (70:30 wt%)
|
成分(elements) |
硅(Si) |
铝（Al） |
铁（Fe） |
铜(Cu) |
锰（Mn) |
碳(C) |
钙（Ca） |
氧(O) |
氮(N) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
测 试 值（wt%) （Test values） |
70.81 |
28.93 |
≤0.071 |
0.002 |
0.002 |
0.04 |
0.002 |
≤0.05 |
0.04 |
|
密度（g/cm3）（Density) |
2.42 |
||||||||
公司生产的典型硅铝系列合金靶材包括：
Si10% Al90%; Si20% Al80%; Si30% Al70%;
Si33%Al67%; Si50%Al50%; Si70% Al30%;
Si80% Al20%; Si90% Al10%; Si95% Al5%;
硅铝合金靶材合金成分范围从 Si 含量 5%到 95%任意配比都可生产。可确保靶材纯度>99.9%,相对密度>99%，硅相尺寸<100 微米，品质可靠，配比和规格可根据您的要求定制。
点击QQ咨询