纯金属单质靶材

铌靶材

产品简述:

铌靶材 用途:铌及铌合金靶材主要应用于表面工程材料,如船舶、化工、液晶显示器(LCD)以及耐热、耐腐蚀高导电等镀膜行业,薄膜太阳能工业,低辐射玻璃工业,平板显示工业,光

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铌靶材
用途:铌及铌合金靶材主要应用于表面工程材料,如船舶、化工、液晶显示器(LCD)以及耐热、耐腐蚀高导电等镀膜行业,薄膜太阳能工业,低辐射玻璃工业,平板显示工业,光学镀膜工业,工具及装饰镀膜工业。
纯度:99.9%,99.95%,99.99%
规格:
方形靶材:长度(200mm~2500mm)x宽度(10mm~1000mm)x厚度(1mm~25mm)
圆靶材:直径Φ(25mm~800mm)x厚度(3mm~28mm)
铌旋转靶采用真空熔炼工艺,可生产最大长度4000mm,厚度根据客户要求定制。
铌平面靶采用真空熔炼工艺,可生产最大长度2500mm,最大宽度400mm,尺寸可根据客户要求加工。
再结晶:95%最少;
表面粗糙度 : Ra 0.4;
晶粒度: 40μm;

铌靶材化学成分表一
牌号 主要成份 其它杂质  最大%
Nb Fe Si Ni W Mo Ti Ta O C H N
Nb1 剩余 0.004 0.004 0.002 0.005 0.005 0.002 0.07 0.015 0.0040 0.0015 0.003
Nb2 剩余 0.01 0.01 0.005 0.02 0.01 0.004 0.10 0.02 0.01 0.0015 0.008
                           

铌靶材化学成分表二:
牌号 化学成分:PPM,不大于
Fe Si Mo W Ti Cr Ta Ni O C H N (Nb+Ta)%≥
Nb3 20 20 80 100 10 10 1000 20 250 100 15 150 99.9%
Nb2 10 10 50 50 5 5 500 10 200 50 10 100 99.95%
Nb1 5 5 10 20 1 1 100 1 100 30 10 50 99.99%
 
物理性能
标准号 抗拉强度,最小最 磅 /英寸2(兆帕)    屈服强度(0.2%的残余变形)最小,磅/英寸2 (兆帕)  伸长率, 最小,%
1英寸(25.4毫米)标距
RO4200-1
RO4210-2
 18000 (125) 12000 (85)  25 
 
方靶材尺寸、公差(毫米,不大于)
厚度 厚度公差 宽度 宽度公差 长度 长度公差
一级 二级
3~8 ±0.1 ±0.2 50~400 ±0.2 50~1800 ±0.2
8~14 ±0.1 ±0.2 50~350 ±0.2 50~1500 ±0.2
≥14 ±0.1 ±0.2 50~300 ±0.2 50~1200 ±0.2
 
圆靶材尺寸、公差(毫米,不大于)
厚度 厚度公差 直径 直径公差
一级 二级
3~8 ±0.1 ±0.2 50~450 ±0.2
8~14 ±0.1 ±0.2 50~450 ±0.2
≥14 ±0.1 ±0.2 50~400 ±0.2
 
 
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