纯度:99.5%~99.95%;
成型工艺:热等静压;
常规尺寸:ID55*OD70*L,ID125*OD153*L , φ100*40mm,φ150*30mm,φ155*30,φ80*40mm等等;
用途:装饰镀膜,工具镀膜,平面显示镀膜,薄膜太阳能工业,平板显示工业,节能玻璃工业,光学镀膜工业(如汽车后视镜镀膜)等。
铬靶Chromium target | 性能Product performance | ||
---|---|---|---|
纯度/% Purity |
99.5 | 99.95 | |
密度/g/cm3 Density |
≥7.12 | ≥7.12 | |
晶粒度/μm Grain size |
≤100 | ≤100 | |
金属杂质总和/ppm Total content of metallic impurities |
≤5000 | ≤500 | |
热导率/W/m.K Thermal conductivity |
60 | 100 | |
热膨胀系数/1/K Coefficient of thermal expansion |
8×10-6 | 8×10-6 | |
规格尺寸/mm Size |
平面靶 Planar target |
≤1600×500 | ≤1600×500 |
旋转靶 Rotating target |
热等静压整体成形 Integral formingby HIP 长度Length≤4000 厚度Thickness≤15 |
热等静压整体成形 Integral formingby HIP 长度Length≤4000 厚度Thickness≤15 |
成分 | 铁(Fe) | 铝(Al) | 硅(Si) | 碳(C) | 硫(S) | 氧(O) | 氮(N) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
标准(Standard) | ≤1500 | ≤1200 | ≤1500 | ≤200 | ≤50 | ≤1400 | ≤300 |
测试值(Test values) | 980 | 300 | 600 | 62 | 50 | 1200 | 200 |
成分 | 铁(Fe) | 铝(Al) | 硅(Si) | 碳(C) | 硫(S) | 氧(O) | 氮(N) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
标准(Standard) | ≤800 | ≤300 | ≤400 | ≤200 | ≤50 | ≤1000 | ≤100 |
测试值(Test values) | 740 | 78 | 92 | 84 | 50 | 340 | 30 |
成分 | 铁(Fe) | 铝(Al) | 硅(Si) | 碳(C) | 硫(S) | 氧(O) | 氮(N) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
标准(Standard) | ≤500 | ≤100 | ≤150 | ≤150 | ≤30 | ≤500 | ≤100 |
测试值(Test values) | 290 | 47 | 80 | 90 | 28 | 450 | 50 |
成分 | 铁(Fe) | 铝(Al) | 硅(Si) | 铜(Cu) | 镍(Ni) | 碳(C) | 硫(S) | 氧(O) | 氮(N) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
标准(Standard) | ≤100 | ≤50 | ≤50 | ≤10 | ≤50 | ≤50 | ≤30 | ≤150 | ≤80 |
测试值(Test values) | 50 | 45 | 40 | 7 | 10 | 24 | 27 | 137 | 30 |
铬旋转靶材、铬管靶
铬管靶可加工成热等静压(HIP)整体成型铬管靶和喷涂铬管靶,两种铬管靶相比,热等静压整体成型铬管靶具有氧含量低、致密度高、镀膜均匀致密质量好等优点,缺点成本较高。
热等静压铬管靶
纯度:99.8%
工艺:热等静压一体成型高纯铬靶
常用规格:高纯铬管靶,高纯铬环靶,长度500~2000mm,直径:70-155mm,管厚:3-10mm,按您的要求定做。
相对于传统等离子喷涂,热等静压管靶单边更加厚,使用寿命更长是,传统喷涂靶3倍,含氧量更低。
喷涂铬管靶
成型工艺:热等静压、喷涂
用途:工具镀膜、装饰镀膜、建筑玻璃镀膜
常规尺寸:ID125xOD145~155xL (mm)
性能 |
喷涂铬管靶材 |
热等静压整体成形铬管靶材 |
---|---|---|
氧含量/ppm |
≤5000 |
80-1500 |
镀膜均匀性 Deposition uniformity |
1. 整管轴向致密度相差较大 2. 整炉上中下L、A、B值相差较大 3. 无法保证产品膜层的一致性 |
1. 整管均匀性高 2. 密度接近于纯金属热挤压密度,管材通体密度一致 3. 无松散区、无暗区 4. PVD膜层的厚度及颜色的一致性好 5. 整炉上中下L、A、B值统一性好 |
镀膜电流密度 |
无法实现大电流长时间工作 |
大功率长时间稳定工作 |