高温超导薄膜基片

铝酸锶钽镧(La,Sr)(Al,Ta)O3晶体基片

产品简述:

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产品详细
  铝酸锶镧晶体基片从熔点温度直至低温下均无孪晶及相变,与高温超导体YBCO具有相同的结构,<001>面与其它衬底相比与YBCO<001>具有适中的晶格失配(2.5~3.5%),同时该晶体的热膨胀系数比其它钙钛矿结构的晶体低,可以在较低的温度下沉积薄膜从而改善晶格失配及减少应力。

铝酸锶钽镧(La,Sr)(Al,Ta)O3晶体基片主要性能参数

晶系
四方
生长方法
提拉法
晶格常数
a=3.756Å   c=12.63 Å
熔点(℃)
1650
密度
5.92(g/cm3)
硬度
6-6.5(mohs)
介电常数ε
~ 22
尺寸
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″
厚度
0.5mm,1.0mm
抛光
单面或双面
晶向
<001>  
晶面定向精度:
±0.5°
边缘定向精度:
2°(特殊要求可达1°以内)
斜切晶片
可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
包装
100级洁净袋,1000级超净室
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