一、什么是靶材绑定？靶材绑定的适用范围、流程？

    1.溅射温度高，无氧铜易被氧化和发生翘曲，靶材在高温溅射时会开裂，造成背靶脱落；
    2.电流太大，导热太快造成温度过高，焊料熔化，造成焊料不均匀，脱落；
    3.循环冷却水出水口的温度应低于35度，循环水温度高，造成散热不好而脱落；
    4.绑定的气含量；
    5.靶材本身的致密度，靶材的致密度很高时，不易吸附，无空隙，背靶易脱落。

二、防止背靶脱落的注意事项

    1.溅射温度不宜太高；
    2.电流要缓慢加大；
    3.循环水应低于35°；
    4.适宜的靶材致密度。