氮化硅(Si3N4)陶瓷基板的强度很高，尤其是热压氮化硅，是世界 上最坚硬的物质之一。它极耐高温，强度一直可以维持到１２００℃的高温而不下降，受热后不会熔成融体，一直到１９００℃才会分解，并有惊人的耐化学腐蚀性 能，能耐几乎所有的无机酸和３０％以下的烧碱溶液，也能耐很多有机酸的腐蚀；同时又是一种高性能电绝缘材料。氮化硅陶瓷可做燃气轮机的燃烧室、机械密封 环、输送铝液的电磁泵的管道及阀门、永久性模具、钢水分离环等。
　　氮化硅陶瓷是一种烧结时不收缩的无机材料。它是用硅粉作原料，先用通常成型的方法做成所需的形状，在氮气中及１２００℃的高温下进行初步氮化，使其中一部 分硅粉与氮反应生成氮化硅，然后在１３５０℃～１４５０℃的高温炉中进行第二次氮化，反应成氮化硅。用热压烧结法可制得达到理论密度９９％的氮化硅。 在室温下Si3N4陶瓷的导热率范围在10到162 W.m -1.K -1之间。

分子式	Si3N4
相对分子质量	140.28
颜色	灰色、灰黑色
晶系	六方晶系。晶体呈六面体
密度	3.44 g/cm3
莫氏硬度	9~9.5
熔点	1900℃（加压下）。通常在常压下1900℃分解
比热容	0.71J/(g·K)
热导率	16.7W/(m·K)
弹性模量	28420~46060MPa
耐压强度为	490MPa（反应烧结的）
溶解度	不溶于水。溶于氢氟酸。
氧化温度	在空气中开始氧化的温度1300~1400℃